Extra Form
항목 뉴스
?

단축키

Prev이전 문서

Next다음 문서

크게 작게 위로 아래로 게시글 수정 내역 댓글로 가기 인쇄 첨부
?

단축키

Prev이전 문서

Next다음 문서

크게 작게 위로 아래로 게시글 수정 내역 댓글로 가기 인쇄 첨부

- 플랫 또는 노치 웨이퍼를 위한 자동화 장비로서 20213분기 공급건 다수 수주

 

ACM_ECP_GIII.jpg

ACM 리서치는 실리콘카바이드(SiC) 질화갈륨(GaN) 및 갈륨비소(GaAs)를 지원할 수 있는 화합물 반도체용 웨비퍼 레벨 패키징 제품인 Ultra ECP GIII 전기도금 장비를 출시했다고 밝혔다.

 

이 웨이퍼 레벨 패키징 장비는 후면 딥 홀(Backside deep hole) 공정에서 개선된 균일성과 단차피복성(Step coverage)으로 금(Au)을 도금할 수 있다. 또한, 6인치 플랫 에지(flat edge) 및 노치 웨이퍼의 대용량 처리를 지원하는 완전 자동화 플랫폼을 갖추고 있으며, ACM에서 보유중인 2차 양극(second anode) 공급 장치 기술과 고속 그리드 기술(Paddle technology)을 결합하여 최고의 성능을 달성한다.

 

ACM 리서치의 데이비드 왕(David Wang) CEO전기 자동차, 5G 통신, RF AI 애플리케이션에 대한 강력한 수요로 화합물 반도체 시장이 급성장하는데 반해, 현재 화합물 반도체 제조 공정의 자동화 수준은 제한적이며 대부분의 전기도금 공정은 균일성이 불량한 수직 전기도금 장비를 사용해 생산량도 제한을 받고 있다고 지적하고. “이번에 새로 개발한 Ultra ECP GIII 전기도금 장비는 이러한 문제들을 극복하면서 화합물 반도체의 용량과 고급 성능에 대한 점증하는 요구 사항을 충족한다고 밝혔다.

 

ACMUltra ECP GIII 장비는 2차 양극 공급 장치와 고속 그리드 기술의 두 가지 핵심 기술을 활용하는데 2차 양극 공급장치는 전기장(Electrical field) 분포차이로 인해 발생하는 문제를 극복하기 위해 웨이퍼 레벨 패키징 기능을 효과적으로 조정함으로써 우수한 균일도 제어 능력을 제공한다. 또한 이 기술은 웨이퍼 에지 영역과 노치 영역의 패턴을 최적화하고 3% 이내의 도금 균일도를 달성하는 데 활용할 수 있다.

 

ACM의 고속 그리드 기술은 더욱 강력한 믹싱 효과를 얻을 수 있으며 대량 전송 능력을 향상시켜 딥 홀 공정에서 단차피복성을 개선시킬 수 있다. 또한, 개선된 단차피복성은 금(Au) 필름의 두께를 감소시켜 고객의 비용을 절감할 수 있다.

 

현재 ACMUltra ECP GIII는 중국 화합물 반도체 제조업체로부터 2건의 수주를 받았다. 1차 주문 장비는 2차 양극 기술을 활용해 구리-니켈-주석-은으로 구성된 도금 모듈을 웨이퍼 레벨 패키징에 적용한 후 진공 습식 전처리 챔버(Vacuum pre-wet chamber)와 세정 후 챔버에 일체화했으며 고객사에 납품했다. 2차 주문 장비는 금(Au) 도금을 위한 장비로서 9월말에 고객에게 최종 공급될 예정이다.

 

#ACM#

 
TAG •
?

  1. 인피니언, 1200V EconoDUAL 3 포트폴리오 확대

    인피니언 테크놀로지스는 이코노듀얼(EconoDUAL) 3 포트폴리오가 트랜치스탑(TRENCHSTOP) IGBT7 칩으로 300A부터 최대 900A에 이르는 다양한 구성의 전류 정격을 제공한다고 밝혔다. 유연성을 높이고 향상된 전력 밀도와 성능을 제공하는 이들 제품은 태양광, ...
    Date2021.09.15 Bynewsit Reply0 Views8 file
    Read More
  2. ST, LED TV용 200W 디지털 전원 솔루션 출시

    ST마이크로일렉트로닉스는 LED 및 OLED TV용 200W 디지털 전원공급장치와 어댑터를 신속하게 구현해 가장 엄격한 에너지 효율 및 절전 규정을 초과 달성할 수 있도록 지원하는 STEVAL-NRG011TV 보드를 출시했다고 밝혔다. ST의 STNRG011 디지털 PFC(Power-Fact...
    Date2021.09.15 Bynewsit Reply0 Views13 항목뉴스 file
    Read More
  3. 어플라이드 머티어리얼즈, 신기술로 SiC 반도체 제조사 200mm 웨이퍼 전환 지원…“ 성능 및 전력 효율 향상”

    - 전기자동차 파워트레인 핵심인 SiC 반도체 칩 대형 200mm 웨이퍼로 전환 - 어플라이드 200mm CMP 시스템… 웨이퍼에서 SiC 소재를 정밀 제거해 칩 성능과 신뢰도, 수율 극대화 - 어플라이드 ‘핫 임플란트’ 기술… 결정 구조 손상을 최소화하며 이온 주입해 전...
    Date2021.09.14 Bynewsit Reply0 Views15 file
    Read More
  4. 온세미, 라맥셀 차세대 서버에 지능형 전력 기술 제공

    - 온세미, 고신뢰성 · 고효율 다상 컨트롤러, 스마트 전력 스테이지(SPS) 및 POL(point-of-load) 레귤레이터로 구성된 완벽한 포트폴리오 통해 클라우드 투 엣지 인프라 전체에 전력 공급 온세미는 라맥셀(Ramaxel)이 최신 인텔 기반 VR13.HC 서버에 자사의 지...
    Date2021.09.14 Bynewsit Reply0 Views15 항목뉴스 file
    Read More
  5. ST, 8x8 멀티존 거리측정 센서 「VL53L5CX」 출시…“범용 애플리케이션 지원”

    ST마이크로일렉트로닉스가 범용 애플리케이션을 지원하는 멀티존 플라이트센스 ToF(Time-of-Flight) 센서를 최초로 출시했다. 이 멀티존 거리 센서는 컨슈머 및 산업용 제품 전반에 걸쳐 정교한 거리 감지 기능을 제공한다. VL53L5CX 센서는 여러 대상을 감지...
    Date2021.09.14 Bynewsit Reply0 Views18 항목뉴스 file
    Read More
  6. 마우저, '르네사스'와 '다이얼로그'의 전문적인 설계 솔루션 제공

    - 임베디드 프로세싱, 연결성, 아날로그 및 전력을 위한 새로운 시스템 솔루션 마우저 일렉트로닉스는 르네사스 일렉트로닉스(Renesas Electronics)와 르네사스 계열사인 다이얼로그 세미컨덕터(Dialog Semiconductor)의 상호 보완 및 결합 제품 포트폴리오를 ...
    Date2021.09.14 Bynewsit Reply0 Views9 항목뉴스 file
    Read More
  7. ACM 리서치, 화합물 반도체 제조용 웨이퍼 레벨 패키징 「Ultra ECP GIII」 출시

    - 플랫 또는 노치 웨이퍼를 위한 자동화 장비로서 2021년 3분기 공급건 다수 수주 ACM 리서치는 실리콘카바이드(SiC) 질화갈륨(GaN) 및 갈륨비소(GaAs)를 지원할 수 있는 화합물 반도체용 웨비퍼 레벨 패키징 제품인 Ultra ECP GIII 전기도금 장비를 출시했다...
    Date2021.09.14 Bynewsit Reply0 Views12 항목뉴스 file
    Read More
  8. 마우저 일렉트로닉스, 지능형 자율이동로봇(AMR) 설계 온라인 세미나 개최

    마우저 일렉트로닉스는 오는 9월 29일(수) ~ 30일(목) 이틀 간 ‘지능형 자율이동로봇(AMR) 설계 세미나 2021’을 개최한다고 밝혔다. AMR에 대한 관심과 수요는 점점 더 높아지고 있다. 일선 물류창고, 제조 현장, 유통 등의 부문에서 무인운반차(AGV)가 여전히...
    Date2021.09.13 Bynewsit Reply0 Views11 항목뉴스 file
    Read More
  9. ST, GSMA 인증 eSIM 「ST4SIM」 매스마켓 출시

    - GSMA 인증의 산업 및 자동차용 SIM/eSIM IC, 유통업체에서 구매 가능 - IoT 디바이스의 무선 네트워크 연결에 필요한 모든 서비스 제공 - 산업 표준형 폼팩터 및 칩 크기의 패키지 옵션 지원 ST마이크로일렉트로닉스는 M2M 애플리케이션용 eSIM IC인 ST4SIM...
    Date2021.09.10 Bynewsit Reply0 Views21 항목뉴스 file
    Read More
  10. 엘리먼트14, 노르딕 세미컨덕터의 'nPM1100' 추가..."PMIC 제품군 강화"

    엘리먼트14는 노드딕 세미컨덕터의 컴팩트한 전력 관리 솔루션인 nPM1100 PMIC 및 평가 키트를 제품군에 추가했다고 밝혔다. Nordic의 nPM1100는 웨어러블 전자제품과 원격 제어, 개인용 의료기기 및 스마트홈 센서등에 적용할 수 있다. 노드릭 세미컨덕터의 n...
    Date2021.09.09 Bynewsit Reply0 Views17 항목뉴스 file
    Read More
목록
Board Pagination Prev 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 ... 56 Next
/ 56
CLOSE
gtag('config', 'G-3JH3B23695');