- 초당 1,600만 데이터 포인트 포착…차세대 메모리·로직·HBM 공정 위한 인라인 측정 성능 강화

 

우프틱스(Wooptix)가 반도체 웨이퍼 형상·기하구조를 서브나노미터급 초고분해능으로 측정하는 신규 인라인 계측 솔루션 ‘Phemet(페멧)’을 공식 공개했다. 이번 신제품은 단일 이미지로 4,700×4,700 픽셀, 1,600만 개 이상의 데이터 포인트를 초고속으로 포착하는 성능을 갖춰 첨단 반도체 공정의 계측 기준을 새로운 수준으로 끌어올렸다는 평가다.

 

단일 이미지로 서브나노미터 계측… 인라인 공정 제어 강화

페멧은 웨이퍼 전체를 한 번에 촬영해 형상, 나노토포그래피, 휨(warp), 뒤틀림(bow) 등을 높은 정확도로 측정한다. 블랭크·패턴·본딩 웨이퍼 등 다양한 시료에 대응하는 범용 장비로, 공정 엔지니어는 원시 데이터를 기반으로 오버레이 오차나 숨은 결함의 원인을 빠르게 파악해 수율을 개선할 수 있다.

 

독자 WFPI 기술 적용…4,700×4,700 픽셀 초고분해능

우프틱스는 독자 개발한 파면 위상 이미징(WFPI) 기술을 기반으로 웨이퍼의 빛 분포를 포착하고 자체 알고리즘을 활용해 위상 맵을 구성한다. 이 과정에서 서브나노미터 분해능의 위상 데이터가 신속하게 생성돼 하이브리드 본딩, 후면 전원 공급 로직(Foveros·BSPDN), 차세대 3D NAND, 고대역폭 메모리(HBM) 등 첨단 공정 계측에 적합하다.

 

웨이퍼 계측 난제 해결…업계 요구 대응한 새로운 기준 제시

우프틱스 호세 마누엘 라모스 CEO는 “반도체가 더욱 작고 복잡한 구조로 진화함에 따라, 양산 공정에서 요구되는 계측 성능도 급격히 높아지고 있다”고 설명하고, “페멧은 단일 이미지로 서브나노미터 분해능과 초당 1,600만 데이터 포인트 수집을 가능하게 해 계측 분야의 새로운 표준을 제시한다”고 밝혔다.

 

테크인사이츠 반도체 시장 분석 총괄 리스토 푸하카는 “3D 집적·초미세 구조가 확산되면서 웨이퍼 형상·평탄도 측정의 정확성과 속도는 공정 제어 핵심 요소가 되고 있다. 고속·고분해능·전영역 계측을 결합한 솔루션에 대한 업계 수요가 계속 증가하고 있다”고 평가했다.

 

티어 1 고객사 테스트 완료…11월부터 시연 개시

우프틱스는 글로벌 메모리·로직 반도체 기업들과 신규 시스템 테스트를 진행했으며 “예상 이상으로 뛰어난 결과를 얻었다”고 밝혔다. 회사는 곧 주요 업체들에 장비 공급을 시작해 양산 라인 적용을 확대할 계획이다.

 

우프틱스는 삼성벤처투자, 인텔 캐피탈, TEL 벤처 캐피탈 등으로부터 3,500만 달러 이상을 투자받았으며, 페멧 시연을 2025년 11월부터 공식적으로 시작할 예정이다.

 

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